光学微电子行业净化工程设计方案:
分析对于常规电子厂房洁净室空调的设计,应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案,以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验,对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的,又要初投资低的,可以选用柜机+FFU。总之,具体的方案选择根据具体情况而定。
洁净室运行中存在的问题
①洁净室内布局不合理
②洁净室的清扫工作不规范
③在对一些洁净室的局部单向流进行风速及洁净度测试时,经常会遇到同一局部百级区域某些位置的风速很小,几乎为零,且洁净度也经常超标。
净化工程按照字面解释就是帮助我们更多的净化下我空气环境,百度给出的净化工程是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。
净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用初效、中效、空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理,可采用亚空气过滤器代空气过滤器。
过滤器的特点:
1. 空气过滤器选用的主要控制参数过滤效率、额定风量、额定风量下的初阻力、容尘量等。
2. 按GB/T6165-1985《空气过滤器性能试验方法透过率和阻力》规定的方法检验,其透过率≤0.1%(即效率≥99.9%)或对粒径≥0.1μm微粒的计数透过率≤0.001%(即效率≥99.999%)的过滤器为空气过滤器。
3. 空气过滤器常用滤料有超细玻璃纤维等。
4. 空气过滤器应符合防火要求,空气过滤器按耐火程度分为三级:1级过滤器,过滤器全部材料都是不燃性的,不燃性材料应符合GB8624-1997A级。2级过滤器,过滤器滤料应为符合GB8624-1997A级的燃性材料,分隔板、框架可用符合GB8624-1997B2级的可燃性材料。3级过滤器,过滤器全部材料可用符合GB8624-1997B3级